*1 該數(shù)值是從鏡頭結(jié)構(gòu)件表面到鏡頭測(cè)量范圍的中心點(diǎn)的數(shù)值；
*2 該數(shù)值是在我司無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室光學(xué)平臺(tái)下測(cè)得的鎢鋼標(biāo)準(zhǔn)量塊的數(shù)值，樣本數(shù)200000，積分時(shí)間400μs、手動(dòng)調(diào)光信號(hào)強(qiáng)度至50%，滑動(dòng)平均濾波窗口大小為128，該數(shù)值為3·σ。
*1 該數(shù)值為3σ值，是在我司無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室光學(xué)平臺(tái)下測(cè)得的鏡面標(biāo)準(zhǔn)塊的數(shù)值，輪廓數(shù)200000，積分時(shí)間200μs，手動(dòng)調(diào)光信號(hào)強(qiáng)度至20%；
*2 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn)，2048點(diǎn)時(shí)全量程掃描速率為2500Hz；
*3 此速率下X方向掃描點(diǎn)數(shù)為1024點(diǎn)，2048點(diǎn)時(shí)全量程掃描速率為3100Hz；
*4 此時(shí)Z方向量程為全量程的1/8；
*1 12V供電狀態(tài)下，雙通道處于觸發(fā)情況下的電流值(無(wú)負(fù)載情況)
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